[发明专利]标记方法及标记装置和检查装置无效
| 申请号： | 200510055195.0 | 申请日： | 2005-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN1670939A | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 矢泽雅彦 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 权鲜枝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种标记方法及标记装置和检查装置，目的在于，对基板上的特定位置迅速附加大小均匀的标记。检查装置具有显微镜(1)和标记装置(2)，标记装置(2)具有：保持形成有多个电路(W2)的基板(W1)的载物台(21)；对判定为不良的电路(W2)附加标记的标记附加单元(22)；控制载物台(21)和标记附加单元(22)的控制装置(24)。控制装置(24)存储通过显微镜检查判定为不良的电路(W2)的载物台(21)的位置，根据该位置控制标记附加单元(22)和载物台(21)的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 标记 方法 装置 检查 | ||
【主权项】：
1.一种标记方法，把形成有多个电路的基板保持在载物台上，根据检查电路的结果，对判定为不良的特定电路附加标记，其特征在于，存储检查所述特定电路时的所述载物台的位置信息，在对所述特定电路附加标记时，根据关于所述特定电路的所述位置信息，调整所述基板的位置，然后附加标记。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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