[发明专利]光学式外观检查方法以及光学式外观检查装置

摘要

本发明涉及一种光学式外观检查方法以及光学式外观检查装置，是将薄膜掩膜(1)承载在承载台(2)上，从以追随摄像部(3)的形式而安装着的空气喷出部件(6)通过喷嘴(7)向摄像部(3)的扫描位置的附近喷出空气。利用向扫描位置的附近喷出的空气，在使薄膜掩膜(1)上的扫描位置周边与承载台(2)紧密接触的同时，由摄像部(3)对薄膜掩膜(1)进行扫描，对薄膜掩膜(1)的检查区域进行摄像。这样，能够使用便宜的装置对薄膜掩膜等的柔性的薄板基板进行正确的检查。

主权项

1、一种光学式外观检查方法，检查印刷基板和薄膜掩膜等的柔性的薄板基板，其特征在于，具有：承载步骤，将上述薄板基板承载在承载台上；摄像步骤，利用摄像装置对承载在上述承载台上的上述薄板基板进行扫描并摄像；空气喷出步骤，与上述摄像步骤的扫描并行，向上述薄板基板的扫描位置附近喷出空气。