[发明专利]光学镀膜装置无效
| 申请号： | 200510035747.1 | 申请日： | 2005-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN1891848A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 简士哲 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/24;C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种光学镀膜装置，包括真空镀膜室、基板承载机构、多个坩埚系统及多个修正板，其中基板承载机构设置于真空镀膜室的上部，坩埚系统位于真空镀膜室内基板承载机构下部，其中该多个修正板通过旋转机构可旋转的遮盖于基板承载机构与坩埚系统之间。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学镀膜装置，其包括真空镀膜室、基板承载机构及多个坩埚系统，该基板承载机构设置于真空镀膜室的上部，该坩埚系统位于真空镀膜室内基板承载机构下部，其特征在于：该光学镀膜装置还包括多个修正板，该多个修正板通过旋转机构可选择性地旋转遮盖于基板承载机构与坩埚系统之间。
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