[发明专利]测量激光光束平行性的装置无效
| 申请号： | 200510028736.0 | 申请日： | 2005-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN1731085A | 公开（公告）日： | 2006-02-08 |
| 发明（设计）人： | 朱青;徐文东;高秀敏;张锋;杨金涛;戴珂 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B21/22 | 分类号： | G01B21/22;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种测量激光光束平行性的装置，本发明采用被检测光束、光阑、会聚透镜、半透半反镜、两个柱透镜、两个四象限探测器和计算机组成测量装置；会聚物镜、半透半反镜、两个柱透镜和两个四象限探测器构成光束平行性检测器，基于象散法聚焦误差探测来进行光束平行性的探测。采用差动法消除由于入射光离轴造成的探测误差。可以通过设计光学系统以拥有任意灵敏度和线性范围；尤其适合测量高质量的小口径，小发散角的具有旋转对称性的激光光束。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 激光 光束 平行 装置 | ||
【主权项】：
1、一种测量激光光束平行性的装置，特征在于其构成是：同光轴地依次设有光阑(2)、会聚透镜(3)、半透半反镜(4)、第一柱透镜(5)、第一四象限探测器(7)，在所述的半透半反镜(4)的反射光方向，即垂直于所述的光轴方向依次是第二柱透镜(6)、第二四象限探测器(8)，所述的第一柱透镜(5)和第二柱透镜(6)关于所述的半透半反镜(4)的分光面相对称，所述第一四象限探测器(7)和第二四象限探测器(8)的信号输出端与计算机(9)的输入端相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510028736.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种交换设备、实现交换设备的方法和交换方法
- 下一篇：微孔陶瓷微生物过滤器
