[发明专利]碳纳米管微结构的制备方法

摘要

一种碳纳米管微结构的制备方法，步骤包括：基片准备；碳纳米管浆料制备；微结构成模：在经过处理的基片上表面，制成光刻胶层，并经曝光、显影和坚膜工艺以后形成具有所需图形和高度的微图形结构；碳纳米管压铸：采用压铸方法将碳纳米管浆料压入微结构模型中；固化成型：通过加热和保温处理，稳定固化碳纳米管微结构；脱模：通过将经过上述步骤的基片充分浸没在适用于溶解微结构模型的溶液中，在基片表面上形成碳纳米管微结构。本发明集合了常规图形化－光刻技术以及三维微结构－微压铸制造技术的特征，具有制备过程简单，结构图形边界清晰，图形深宽比大，图形化精度高，工艺适用性强等特点，尤其适用于大面积碳纳米管图形化结构的制备。

主权项

1.一种碳纳米管微结构的制备方法，其特征在于，包括下列步骤：(1)基片准备：对用于制备微结构的基片进行预处理，采用标准微电子清洗工艺处理后烘干备用；(2)碳纳米管浆料制备：提供微结构所需的碳纳米管浆料；(3)微结构成模：用于在经过步骤(1)处理后的基片上表面，旋涂光致抗蚀有机化合物，制成光刻胶层，并经曝光、显影和坚膜工艺以后形成具有所需图形和高度的微图形结构；(4)碳纳米管压铸：采用压铸方法将步骤(2)所制备的碳纳米管浆料压入步骤(3)所制成的微结构模型中，且使碳纳米管浆料充分注入微结构模型的内部，以及完全涂覆在微结构模型的表面；(5)固化成型：通过加热和保温处理，稳定固化碳纳米管微结构；(6)脱模：通过将经过上述步骤的基片充分浸没在适用于溶解微结构模型的溶液中，当步骤(2)所制成的光刻胶层充分完全溶解、去除、清洗、干燥后，在基片表面上形成碳纳米管微结构。