[发明专利]制备电子显微镜检测样品的模具及其制造方法有效
| 申请号： | 200510027286.3 | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1888849A | 公开（公告）日： | 2007-01-03 |
| 发明（设计）人： | 蒋青云;胡建强;周晶;高强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N1/06;G01N13/00 |
| 代理公司： | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘名华;楼仙英 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供制备电子显微镜检测样品的模具和模具的制造方法。模具是一个玻璃模板1，玻璃模板1的中心部分形成放样品的凹槽2。模具的制造方法是，首先在玻璃模板的中心放置其尺寸与要形成的凹槽尺寸相同的盖板，用刻刀在玻璃模板中心位置刻出盖板的轮廓线，轮廓线范围之外的玻璃模板部分涂覆保护层，使其在随后的腐蚀工艺中不被腐蚀，用腐蚀工艺将模板轮廓线内的玻璃模板部分形成凹槽。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 电子显微镜 检测 样品 模具 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、制备电子显微镜检测样品的模具，其特征是，模具是一个玻璃模板(1)，玻璃模板(1)的中心部分形成放样品的凹槽(2)，玻璃模板(1)的尺寸是25×25×4(mm)，玻璃模板(1)的中心部分形成的放样品凹槽(2)的尺寸是长度15mm×宽度5mm×深度15μm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200510027286.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于水处理的一体化微孔过滤方法及其装置
- 下一篇：基因健康卡及基因记录仪
