[发明专利]包括多个孔的中空电极结构及利用上述结构的等离子聚合处理装置无效

专利信息
申请号: 200510014266.2 申请日: 2005-06-30
公开(公告)号: CN1889225A 公开(公告)日: 2007-01-03
发明(设计)人: 曺川寿 申请(专利权)人: 乐金电子(天津)电器有限公司
主分类号: H01J37/04 分类号: H01J37/04;H05H1/48;H05H1/34;B05D3/14;C08F2/01;C23C16/513
代理公司: 天津三元专利商标代理有限责任公司 代理人: 郑永康
地址: 30040*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 一种包括多个孔的中空电极结构及利用上述结构的等离子聚合处理装置,包括第一电极;具有与电极相反的极性并与电极保持一定距离,而且位于与电极相对应的位置的第二电极;连接于第一电极的一面并延长形成于第二电极的边缘,而且与第一电极及第二电极一道整体形成中空并具有密闭结构的绝缘体,另外,在由第一电极、第二电极及绝缘体构成的密闭结构的一面形成有输气口,而在第二电极的表面形成有多个孔。本发明在进行聚合处理时,防止因在电极上形成聚合物而发生的碳化现象,防止给需进行聚合处理的电路板接入电源时,随着电路板上的聚合物增多而通过绝缘作用发生弧状现象。
搜索关键词: 包括 多个孔 中空 电极 结构 利用 上述 等离子 聚合 处理 装置
【主权项】:
1、一种包括多个孔的中空电极结构,其特征在于:包括第一电极;具有与上述电极相反的极性并与上述电极保持一定距离,而且位于与上述电极相对应的位置的第二电极;连接于上述第一电极的一面并延长形成于上述第二电极的边缘,而且与上述第一电极及第二电极一道整体形成中空并具有密闭结构的绝缘体,另外,在由上述第一电极、第二电极及绝缘体所构成的密闭结构的一面形成有输气口,而在上述第二电极的表面形成有多个孔。
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