[发明专利]包括多个孔的中空电极结构及利用上述结构的等离子聚合处理装置无效
| 申请号： | 200510014266.2 | 申请日： | 2005-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN1889225A | 公开（公告）日： | 2007-01-03 |
| 发明（设计）人： | 曺川寿 | 申请（专利权）人： | 乐金电子（天津）电器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H05H1/48;H05H1/34;B05D3/14;C08F2/01;C23C16/513 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 郑永康 |
| 地址： | 30040*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 包括 多个孔 中空 电极 结构 利用 上述 等离子 聚合 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
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