[发明专利]压阻式大过载加速度计及其制备方法无效
| 申请号： | 200510012252.7 | 申请日： | 2005-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN1740796A | 公开（公告）日： | 2006-03-01 |
| 发明（设计）人： | 张威;石进杰;郝一龙;李婷;张大成;王阳元 | 申请（专利权）人： | 北京青岛元芯微系统科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人： | 俞达成 |
| 地址： | 100871北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种采用Si基MEMS技术加工的压阻式大过载加速度计，本发明利用Si材料的压阻效应，当所受应力发生改变时其体电阻也随之改变，通过在Si表面离子注入形成压电电阻，并将电阻连接成惠斯通电桥的形式，并将压阻下面的区域挖空形成一个薄膜，当有外界冲击时，薄膜在惯性作用下发生形变，从而使电桥的一对电阻变大，一对电阻变小，从而电桥输出发生改变，从而实现了从机械冲击信号到电信号的转变，输出信号经放大和温度补偿之后就可以用来标定加速度的大小。本发明的压阻式大过载加速度计灵敏度较高，加工工艺与集成电路工艺兼容，易于实现；采用压阻工作信号处理电路简单；便于设计抗高过载结构。 | ||
| 搜索关键词： | 压阻式大 过载 加速度计 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压阻式大过载加速度计，具体包括以下结构：敏感质量块，用于在加速度计经受到敏感方向的冲击时，使其相对于硅衬底产生位移变形；四个横梁，用来作为质量块的支撑臂，和压阻的制备区域；压电电阻，分别位于四个横梁和边框交界的地方；金属连线，用于将四个压阻电连接在一起；边框，用来安装整个加速度计，质量块通过四个横梁连接到边框上。
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