[发明专利]同轴对称型微反射镜阵实现半导体激光器光束整形方法

摘要

同轴对称型微反射镜阵实现半导体激光器光束整形方法，首先半导体激光器阵列准直光束在方向校正微反射镜阵列通光窗口位置处以线光斑的形式入射到光束分割微反射镜阵列，中间部分光束直接穿过光束分割微反射镜阵列窗口，左边的分割微反射镜将入射到该反射镜上的光束向下和向中间反射，右边的分割微反射镜对入射到该微反射镜的光束向上向和向中间反射，在往回反射到方向校正微反射镜阵列的位置处，这两部分光束都与中间直接穿过部分形成线光束堆，经过方向校正微反射镜阵列后，所有的光束均沿原先光路的光轴方向传输，此时，快轴方向的光斑尺寸增大了N倍，慢轴方向的光斑尺寸减小到原来的1/N。这样就实现了线光束到圆光束或正方形光束的变换。本发明具有光束整形效率高、结构简单的优点。

主权项

1、同轴对称型微反射镜阵实现半导体激光器光束整形方法，其特征在于包括下列步骤：(1)根据整形光束折叠要求选择两组对称的光束分割微反射镜阵列，每组光束分割微反射镜阵列的分割次数为奇数，微反射镜个数为奇数；(2)根据所述两组光束分割微反射镜阵列光束中心的间距，设计所有微反射镜反射面的方向，使一组光束分割微反射镜阵列中的光束向下、向中间偏转，另外一组光束分割微反射镜阵列中的光束向上、向中间偏转；(3)光束分割微反射镜阵列中微反射镜单独加工以后胶合在一块玻璃基底材料上；(4)选择方向校正微反射镜组，方向校正微反射镜中的每个微反射镜也是单独加工后经过中间的胶合薄玻璃片胶合形成；(5)将方向校正微反射镜组置于半导体激光器准直光束光路中，让光束从中间窗口通过，再将两对称的光束分割微反射镜组置于光路中调节其位置，使其反射的光束入射到方向校正微反射镜的上下反射镜面上后再次射出，形成堆栈型的叠加光束；(6)将整形光束通过一个双胶合的聚焦透镜，在其焦面上形成一个聚焦光斑，将其耦合进多模光纤中。