[发明专利]离子束装置无效
| 申请号： | 200480040579.9 | 申请日： | 2004-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1906728A | 公开（公告）日： | 2007-01-31 |
| 发明（设计）人： | 内藤胜男;藤田秀树 | 申请（专利权）人： | 日新意旺机械股份公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种离子束装置，包括：发出离子束(4)的离子源；用于从输入的离子束(4)中分离并取出所需质量的离子束(4)的质量分离电磁体(6)；用于在不变的扫描表面内绕不变的扫描中心(P)扫描输入离子束(4)并将其取出的扫描器12；静电偏转器，用于以扫描中心(P)为中心，将所需能量的离子束(4)从输入离子束(4)在致动偏转区域内静电偏转90°，从而在垂直于上述扫描表面的方向上前进，并将其取出；以及扫描机构(54)，用于保持靶(50)并在以常数角度与从静电偏转器(30)取出的离子束(4a)交叉的方向上机械地往复扫描靶。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 装置 | ||
【主权项】：
1.一种离子束装置，包括：扫描器，所述扫描器在给定扫描表面内绕给定扫描中心扫描入射的离子束；以及静电偏转器，所述静电偏转器将从所述扫描器发出的所述离子束静电偏转90°，使得所需能量的离子束在定心于所述扫描中心上的圆弧形偏转区内垂直于所述扫描表面的方向上传播。
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