[发明专利]离子束装置无效
| 申请号： | 200480040579.9 | 申请日： | 2004-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1906728A | 公开（公告）日： | 2007-01-31 |
| 发明（设计）人： | 内藤胜男;藤田秀树 | 申请（专利权）人： | 日新意旺机械股份公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子束 装置 | ||
【说明书】：
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