[发明专利]投影光学系统以及具有该投影光学系统的曝光装置

摘要

提供一种投影光学系统以及具有该投影光学系统的曝光装置。该投影光学系统具有8个反射镜、将第1面(4)的缩小像形成在第2面(7)上。具有用于形成第1面的中间像的第1反射成像光学系统(G1)、用于在第2面上形成中间像的像的第2反射成像光学系统(G2)。第1反射成像光学系统从第1面侧起按光的入射顺序具有第1反射镜(M1)、具有孔径光阑(AS)的第2反射镜(M2)、第3反射镜(M3)和第4反射镜(M4)。第2反射成像光学系统从第1面侧起按光的入射顺序具有第5反射镜(M5)、第6反射镜(M6)、第7反射镜(M7)、以及第8反射镜(M8)。这样，对于X射线具有良好的反射特性，抑制反射镜大型化的同时可对象差进行良好的修正。

主权项

1.一种将第1面的缩小像形成在第2面上的投影光学系统，其特征在于，具有用于形成所述第1面的中间像的第1反射成像光学系统、以及用于在所述第2面上形成所述中间像的像的第2反射成像光学系统，所述第1反射成像光学系统从第1面侧起按光的入射顺序具有凹面的第1反射镜、具有孔径光阑的、凹面的第2反射镜、凸面的第3反射镜、以及凹面的第4反射镜，所述第2反射成像光学系统从第1面侧起按光的入射顺序具有凹面的第5反射镜、凹面的第6反射镜、凸面的第7反射镜、以及凹面的第8反射镜。