[发明专利]在热膨胀率匹配的透明衬底上具有加热体的可调谐光学滤波器无效
| 申请号： | 200480029436.8 | 申请日： | 2004-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN1864091A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 尤金·伊－杉·马;米切尔·S·科恩 | 申请（专利权）人： | 伊吉斯半导体公司 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李春晖 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种光学器件包括：玻璃衬底(410)，粘合到玻璃衬底的晶体硅层(402)和在晶体硅层的顶部制造的热可调谐薄膜光学滤波器(420)。 | ||
| 搜索关键词： | 膨胀率 匹配 透明 衬底 具有 加热 调谐 光学 滤波器 | ||
【主权项】：
1、一种光学器件包括：玻璃衬底，粘合到所述玻璃衬底的晶体硅层；以及在晶体硅层的顶部上制造的热可调谐薄膜光学滤波器。
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