[发明专利]用于通过由包括压电偏转板的偏转单元引导的激光束加工材料的装置无效
| 申请号： | 200480024676.9 | 申请日： | 2004-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN1842393A | 公开（公告）日： | 2006-10-04 |
| 发明（设计）人： | 埃迪·鲁兰茨;斯特凡·迪特里赫;汉斯·J·梅尔 | 申请（专利权）人： | 日立比亚机械股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/08 | 分类号： | B23K26/08;G02B26/08;G02B26/10;B23K26/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种加工材料的装置，包括产生激光束(11)的激光源(1)；偏转单元，该偏转单元设置在激光束(11)的光程中，并且具有至少两个反射镜(35，45)，这两个反射镜可以绕彼此成一定角度的反射轴(38，48)旋转；以及透镜(5)形式的成像单元。每个偏转单元(2)的驱动单元由压电偏振板(3，4)形成，该压电偏振板交替地通过域反转具有相对偏振的区域，使得在施加具有交替相对极性的电压时，导致偏振板的相应自由端(35，45)以及反射轴(38，48)的扭转。这样，可以以非常高的速度极精确地加工基片(6)，如电路基片和电路板。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 通过 包括 压电 偏转板 偏转 单元 引导 激光束 加工 材料 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于通过激光束加工材料的装置，包括：发射激光束(11)的激光源(1)，设置在所述激光束(11)的光程中的偏转单元(2)，具有至少两个相对的、依次设置在所述激光束(11)的光程中的镜面(36；46)，其中所述镜面分别可借助于驱动单元(3，4)绕彼此成一定角度的反射轴(38，48)旋转，以及成像单元(5)，所述成像单元将所述激光束聚焦到工件(6)的由偏转单元确定的位置上，其特征在于，所述偏转单元(2)的驱动单元(3，4)分别由压电偏转板形成，所述压电偏转板在一端(31，41)被夹住，并且在其自由端具有支持镜面(36，46)的、没有电极的反射段(35，45)，其中所述偏转板(3，4)通过域反转分别包括具有交替的相对偏振方向的区域(33，34)，使得在将具有交替极性的电压施加到各个区域(33，34)时，导致相应偏转板(3，4)的相应自由端绕沿其纵向延伸通过反射平面的扭转轴(38，48)扭转。
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