[发明专利]压电/电致伸缩元件及其制造方法无效
申请号: | 200480012072.2 | 申请日: | 2004-06-04 |
公开(公告)号: | CN1784792A | 公开(公告)日: | 2006-06-07 |
发明(设计)人: | 池田幸司;柴田和义 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | H01L41/08 | 分类号: | H01L41/08;H01L41/22 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 钟晶 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 对于每一个压电/电致伸缩元件(18a和18b),电极层(24和26)的端部(24a和26a)从位于压电/电致伸缩层(22)和电极层(24和26)的层叠结构所面对的侧表面150上的压电/电致伸缩层(22)的端面(22a)向外突出。突出的距离(t)小于或等于电极层(24和26)之间的压电/电致伸缩层(22)的厚度(Ld)的一半。期望突出的距离(t)在0.5μm和 2μm之间。 | ||
搜索关键词: | 压电 伸缩 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种压电/电致伸缩元件,其具有由压电/电致伸缩层(22)和电极层(24和26)相互层叠形成相互交叉的梳状结构,其中所述电极层(24和26)的端部(24a和26a)分别从位于所述压电/电致伸缩层(22)和所述电极层(24和26)的层叠结构所面对的侧表面150上的所述压电/电致伸缩层(22)的端面(22a)向外突出,所述端部(24a和26a)从所述端面(22a)向外突出的距离(t)小于或等于位于所述电极层(24和26)之间的所述压电/电致伸缩层(22)的厚度(Ld)的一半。
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