[发明专利]包括中空波导和MEMS反射元件的光路由装置无效
| 申请号： | 200480007821.2 | 申请日： | 2004-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN1764854A | 公开（公告）日： | 2006-04-26 |
| 发明（设计）人： | R·M·詹金斯;M·E·麦克尼;D·J·库姆斯;J·麦奎兰 | 申请（专利权）人： | 秦内蒂克有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/35 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 刘红;张志醒 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 描述了这样一种光路由装置，该光路由装置包括半导体衬底(52)，所述半导体衬底(52)具有至少一个光输入(4)、多个光输出(6，8)和MEMS可移动反射元件阵列(58；102)。可配置所述可移动反射元件阵列(58；102)以使光可从任一光输入(4)选择性地路由至所述多个光输出(6，8)中的两个或多个的任一个。从任一光输入选择性地路由至多个光输出(6，8)中的两个或多个的任一个的光在空心波导中被引导。在一个实施例中，描述了一种交叉连接的光学矩阵开关。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 中空 波导 mems 反射 元件 路由 装置 | ||
【主权项】：
1.一种包括半导体衬底的平面内光路由装置，所述半导体衬底具有至少一个光输入、多个光输出和微机电系统(MEMS)可移动反射元件阵列，所述可移动反射元件阵列可配置成把光选择性的从任一光输入路由至所述多个光输出中的两个或多个的任一个，其特征在于，从任一光输入选择性地路由至所述多个光输出中的两个或多个的任一个的光在空心波导中被引导。
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