[实用新型]石英谐振加速度传感器无效
申请号: | 200420095516.0 | 申请日: | 2004-11-23 |
公开(公告)号: | CN2748921Y | 公开(公告)日: | 2005-12-28 |
发明(设计)人: | 王武立 | 申请(专利权)人: | 王武立 |
主分类号: | G01P15/08 | 分类号: | G01P15/08;G01P15/02 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人: | 李双皓 |
地址: | 519020广东省珠海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种以石英晶体为敏感元件的谐振式加速度传感器。本实用新型技术方案是:一种石英谐振加速度传感器,包括壳体、底座、质量块、两个压电石英谐振器做成的敏感元件以及分别与所述敏感元件相连的两对电极,所述壳体与所述底座构成一封闭腔体,两对电极穿过所述底座伸出所述腔体外,所述质量块与所述底座通过一挠性梁相连;两所述敏感元件位于所述底座和所述质量块之间,两所述敏感元件具有相同的力敏角度特性,两所述敏感元件受到的作用力方向相反。本实用新型采用了通过配对获取力敏角度特性相同的两石英晶片作为敏感元件,在受到相反方向作用力的时候,会产生相反的、等值的频率改变,形成共模差动输出信号,提高了传感器的测量精度。 | ||
搜索关键词: | 石英 谐振 加速度 传感器 | ||
【主权项】:
1、一种石英谐振加速度传感器,包括壳体、底座、质量块、两个压电石英谐振器做成的敏感元件以及分别与所述敏感元件相连的两对电极,所述壳体与所述底座构成一封闭腔体,两对电极穿过所述底座伸出所述腔体外;其特征在于,所述质量块与所述底座通过一挠性梁相连;两所述具有相同的力敏角度特性且受到的作用力方向相反的敏感元件位于所述底座和所述质量块之间。
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