[实用新型]多自由度精密光学测量载物平台无效
申请号: | 200420090585.2 | 申请日: | 2004-09-28 |
公开(公告)号: | CN2727700Y | 公开(公告)日: | 2005-09-21 |
发明(设计)人: | 于瀛洁;郭红卫;陈明仪;孙流星 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 上海上大专利事务所 | 代理人: | 何文欣 |
地址: | 200072*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种多自由度精密光学测量载物平台。它由一个水平方向平移机构上安置一个垂直方向滑移机构,而垂直方向滑移机构上再安装一个旋转工作台构成,在所述的旋转工作台上安装上一个双向可调倾斜度的工件安置台。本实用新型提高测量工件的可调自由度,提高测量精度,适用于大面积重量重的工件的测量。 | ||
搜索关键词: | 自由度 精密 光学 测量 平台 | ||
【主权项】:
1.一种多自由度精密光学测量载物平台,由一个水平方向平移机构(1)上安置一个垂直方向滑移机构(2),而垂直方向滑移机构上再安装一个旋转工作台(4)构成,其特征在于在所述的旋转工作台(4)上安装一个双向可调倾斜度的工件安置台(5)。
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