[实用新型]电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置无效
| 申请号： | 200420072904.7 | 申请日： | 2004-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN2726076Y | 公开（公告）日： | 2005-09-14 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01F5/00 | 分类号： | H01F5/00;H01F38/14;H01L21/00;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑立明 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置。所述的电感耦合线圈结构由两个或两个以上直径不同的多匝数线圈组成；各个多匝数线圈互相连接组成一个三维绕组线圈。所述的装置为设置有所述的电感耦合线圈的等离子体装置。本实用新型提供的电感耦合线圈可以产生较为均匀的电磁场，从而保证了基于该线圈设计的电感耦合等离子体装置可以产生均匀的等离子体，该装置在0.1mTorr－1Torr的气体压力的条件下均可以产生均匀的等离子体。因此，在半导体制造工艺如果采用本实用新型所述的电感耦合等离子体装置，则可以很好地满足半导体制造过程中的各向异性、等向性刻蚀及化学气相沉积等工艺要求。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 线圈 及其 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
1、一种电感耦合线圈，其特征在于结构由两个或两个以上直径不同的多匝数线圈组成；各个多匝数线圈互相连接组成一个三维绕组线圈。
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