[实用新型]隧道式超真空镀膜机无效
| 申请号： | 200420045245.8 | 申请日： | 2004-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN2700339Y | 公开（公告）日： | 2005-05-18 |
| 发明（设计）人： | 陈进锋;肖亮灿;何俊 | 申请（专利权）人： | 广州机械设计研究所 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州三辰专利事务所 | 代理人： | 吴清瑕 |
| 地址： | 510600*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及隧道式超真空镀膜机，它公开了该隧道式超真空镀膜机的机架上设置有二个以上处于不同工作温度和工作压力的箱体，至少一个箱体内设置有镀膜装置。本实用新型的箱体高度由传统的1.2米提高到1.8米，绝对工作压力从传统的1×10－3Pa降低到1×10－4Pa，制造成本低，而产量由传统的100张/小时提高到400张/小时。 | ||
| 搜索关键词： | 隧道 真空镀膜 | ||
【主权项】：
1、隧道式超真空镀膜机，包括机架、设置在机架上的回程机构，其特征是机架上设置有至少二个处于不同工作温度和工作压力的箱体，至少一个箱体内设置有镀膜装置。
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