[发明专利]一种平板显示屏电极的制备方法

摘要

本发明提供一种平板显示屏电极的制备方法，它包括制备金属下电极及用剥离法制备绝缘层以及金属上电极，本发明由于采用剥离法使得在制备电极过程中薄膜表面干净无残留，无刻胶，电极边缘整齐，绝缘性能好，从而将有效避免上下电极的短路现象，大大提高电极性能，确保产品的合格率，本发明还具有制备工艺简单，易操作，易控制等优点。

主权项

1、一种平板显示屏电极的制备方法，它包括以下步骤：(1)、制备金属下电极1)在清洁处理后的平板玻璃基板上，利用直流溅射镀制铬(钛)膜，在铬(钛)膜上直流溅射铜膜，形成铬(钛)-铜双层复合金属膜。2)用丝网印刷的方法印上抗蚀刻的保护油墨，再经过化学刻蚀处理，形成铬(钛)-铜双层复合金属膜下电极。3)利用超声清洗机清洁处理已经形成铬(钛)-铜双层复合金属膜下电极。其特征是它还包括以下步骤：(2)、用剥离法制备绝缘层以及金属上电极1)在已经形成铬(钛)-铜双层复合金属膜下电极的玻璃基板上，利用丝网印刷方法，在金属膜下电极正交方向上印上高温保护油墨(或耐高温光刻胶)，烘干后备用。2)在二次印刷保护油墨的玻璃基板上用溅射法镀制SiO2-Al2O3(Ta2O5)多层绝缘介质膜，其中SiO2采用射频溅射，Al2O3(Ta2O5)采用中频反应溅射。3)在双层介质膜上利用直流溅射形成铬(钛)-铜双层复合上电极金属膜。4)使用高压喷枪接上高压气体，在一定压力下，将有机溶剂(退胶剂)随着高压气体打在玻璃基板上，将高温保护油墨(或耐高温光刻胶)以及覆盖其上的双层介质膜和铬(钛)-铜双层复合上电极金属膜一同剥离掉。5)将玻璃基板置入有机溶剂中充分浸泡，彻底除去残留基板上的油墨。6)利用超声清洗机清洁处理该玻璃基板，最终形成金属下电极，金属上电极层状交叉，以介质绝缘层作为中间隔离的薄膜型电极。