[发明专利]电容式压力传感器

摘要

一种电容式压力传感器(10′)设置有一个检测元件(12)，该检测元件被安装在一个导电的杯形屏蔽部件(24)内，而该杯形屏蔽部件通过卷曲装配到电连接件(20′)的底座上。一个调节电路(14)被安装在一个位于传感器元件和连接件之间的电路空腔内并设置有一个凸舌，该凸舌安装有一个用于将屏蔽部件与电路导电连接在一起的导电轨道。该屏蔽部件安装在一个电绝缘套筒(28)内，而该套筒被安装在一个位于高强度六端口金属外壳中的腔体内，从而使该屏蔽部件与该六端口外壳绝缘。一个设置在检测元件(12)和屏蔽部件的底壁之间的垫圈(26)可由导电材料制成，从而形成一个导电通路，该导电通路将一个设置在检测元件之压力检测表面上的导电涂层与调节电路导电连接在一起，以进行流体位移修正。

主权项

1、一种流体压力传感器，其包括：一个设置有一第一表面的电容式压力检测元件，该第一表面将暴露在流体压力源中，从而提供一个随着所施加的流体压力的变化而变化的电容值；用于将电容值转换成输出电压信号的调节电路；一个电绝缘连接件和多个传感器端子，该连接件将这些连接用端子安装到调节电路上，该连接件设置有一个凸起部分，该凸起部分形成了一个电路腔体，而调节电路就设置在该腔体内；一个导电的杯形部件，该杯形部件设置有一个底壁和一个从该底壁延伸至一自由端部的周向侧壁，该底壁设置有一个流体接收孔，该压力检测元件和连接件的凸起部分被安装在该杯形部件内，同时该周向壁的自由端部通过卷曲装配到该凸起部分上，该杯形部件与调节电路电连接；一个电绝缘套筒，所述杯形部件就安装在该套筒内；以及一个具有第一端和第二端的金属外壳，第一端设置有一个周壁，该周壁具有一个自由远端部分，该外壳的壁形成了一个腔体，该外壳的连接部分设置有一个从该第二端至所述腔体延伸的流体通道；该杯形部件、连接件的凸起部分和绝缘套筒被安装在该外壳的腔体内，同时该外壳壁的自由远端部分通过卷曲装配在凸起部分上并通过电绝缘套筒与外壳绝缘。