[发明专利]加速度传感器

摘要

一种加速度传感器包括：加速度传感器元件，该加速度传感器元件有位于中心的块部分、环绕该块部分的厚框架、以及桥接该块部分和厚框架的多个弹性支承臂；以及上部调节板，该上部调节板覆盖加速度传感器元件，并通过粘接剂固定在厚框架上。块部分的上表面有：连接部分，该连接部分使块部分与各弹性支承臂连接；布线区域，在该布线区域上有引线；以及非布线区域。非布线区域为块部分的上表面的主要区域，并低于布线区域。上部调节板有与布线区域之间的第一间隙以及与非布线区域之间的第二间隙，该第二间隙的长度比第一间隙的长度、导线厚度以及0.1μm(优选是1.0μm)的总和更长。即使当污染物粘附在块部分上表面上时，也很可能在蚀刻非布线区域时使该污染物从上表面上除去，从而不会由于它们而减小块部分的振幅。

主权项

1.一种加速度传感器，包括：加速度传感器元件，该加速度传感器元件有：块部分，该块部分位于加速度传感器元件的中心；厚框架，该厚框架离块部分一定距离，并有在该厚框架的上表面上的多个端子；多个弹性支承臂，这些弹性支承臂桥接着所述块部分的上表面和厚框架的上表面；应变仪，该应变仪形成于弹性支承臂的上表面上；以及引线，该引线在应变仪之间和/或在应变仪和端子之间进行连接；块部分的上表面包括：连接部分，该连接部分使块部分与各弹性支承臂连接；布线区域，在该布线区域上有部分引线；以及非布线区域；以及上部调节板，该上部调节板安装成这样，即，在块部分的布线区域和上部调节板的底表面之间有第一间隙，以便覆盖加速度传感器元件，且该上部调节板通过布置在厚框架的上表面上的粘接剂而固定在厚框架的上表面上；其中，上部调节板有在块部分的非布线区域的上表面和上部调节板的底表面之间的第二间隙，该第二间隙的长度比第一间隙的长度、在布线区域上的引线的厚度以及0.1μm的总和更长。