[发明专利]缺陷检测器和缺陷检测方法

摘要

缺陷检测器的控制部件设有倍率运算部件、被测图像显示部件和主图像显示部件。倍率运算部件基于缺陷信息运算用于缺陷区域的显示倍率α1(显示倍率数据)。成像部件对被测图像数据成像，以便成像倍率β1达到显示倍率α1，并且被测图像显示部件在检测监视器上显示被测图像数据。主图像数据显示部件运算基本上等于显示倍率α1的主图像数据的显示倍率α2，并在检测监视器上以显示倍率α2显示主图像数据。因此，提高了操作者缺陷检测操作的效率。

主权项

1、一种缺陷检测器，用于检测被测物体上的缺陷，所述缺陷检测器包括：图像显示系统；固持元件，固定所述被测物体；图像获得元件，对由所述固持元件固定的所述被测物体进行成像，以通过对具有缺陷的所述被测物体的缺陷区域进行成像而获得被测图像数据；第一显示控制元件，以第一显示倍率在所述图像显示系统上显示由所述图像获得元件获得的所述被测图像数据；以及第二显示控制元件，以第二显示倍率在所述图像显示系统上显示将与所述缺陷区域比较的主图像数据，所述第二显示倍率为响应所述第一显示倍率运算得到的。