[发明专利]自动传输线脉冲系统有效
| 申请号： | 200410062870.8 | 申请日： | 2004-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN1601292A | 公开（公告）日： | 2005-03-30 |
| 发明（设计）人： | 柯明道;张智毅;侯春麟 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/00;G08C19/16 |
| 代理公司： | 上海开祺专利代理有限公司 | 代理人： | 高毓秋 |
| 地址： | 台湾省新竹县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测量半导体元件的静电放电(ESD)特性的自动传输线脉冲系统，包括至少一个产生ESD级脉冲的脉冲产生器；半导体元件的第一端点用以接收来自该至少一个脉冲产生器的第一ESD级脉冲；半导体元件的第二端点用以相对于第一端点接地；半导体元件的至少一个第三端点用以接收来自该至少一个脉冲产生器的第二ESD级脉冲；以及一个资料收集器用以收集半导体元件的ESD特性。以获得更多的有关ESD防护元件的ESD特性资料。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 传输线 脉冲 系统 | ||
【主权项】：
1.一种测量半导体元件的静电放电ESD特性的系统，包括：至少一个产生ESD级脉冲的脉冲产生器；半导体元件的第一端点用以接收来自该至少一个脉冲产生器的第一ESD级脉冲；半导体元件的第二端点用以相对于第一端点接地；半导体元件的至少一个第三端点用以接收来自该至少一个脉冲产生器的第二ESD级脉冲；以及一个资料收集器用以收集半导体元件的ESD特性。
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