[发明专利]一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法无效
| 申请号： | 200410061394.8 | 申请日： | 2004-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1624530A | 公开（公告）日： | 2005-06-08 |
| 发明（设计）人： | 陈四海;王宏臣;黄光;何少伟;付小朝;易新建;马宏 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01;G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化钒薄膜微型光开关及其制作方法。光开关的桥腿与桥面采用同一种介质薄膜制成，二者位于同一平面内，桥腿的一端与桥面相连，另一端架在金属桥墩上，桥面由桥腿和桥墩支撑悬浮在衬底上，桥面与衬底之间构成空腔；氧化钒薄膜制备在桥面之上，电极位于金属桥墩上，且与氧化钒薄膜相连。本发明采用微桥结构，不仅可以降低光开关的热容值，提高开关速度，而且通过改变微桥结构参数，还可以进一步调整光开关与衬底间的热导值。本发明为全固态器件，避免了MOMES光开关中的移动部件，提高了光开关的可靠性。本发明有利于研制高速或者低功耗的光开关阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 薄膜 微型 开关 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种氧化钒薄膜微型光开关，包括氧化钒薄膜及电极，其特征在于：桥腿(2、3)与桥面(1)采用同一种介质薄膜制成，二者位于同一平面内，桥腿(2、3)的一端与桥面(1)相连，另一端架在金属桥墩(4、5)上，桥面(1)由桥腿(2、3)和桥墩(4、5)支撑悬浮在衬底(7)上，桥面(1)与衬底(7)之间构成空腔(6)；氧化钒薄膜(11)制备在桥面(1)之上，电极(10、11)位于金属桥墩(4、5)上，且与氧化钒薄膜(12)相连。
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