[发明专利]连续横向固化装置和使用该装置结晶硅的方法

摘要

本发明披露了一种连续横向固化装置和使用该装置结晶硅的方法，该方法控制相邻照射激光束图案的重叠区的大小和排列，使其处于像素区和像素区以外部分的驱动区的特定区域内。该装置包括用于照射激光束的激光发生装置；用于聚焦激光束的聚焦透镜；具有透明区域图案的掩模，允许激光束透过形成激光束图案；减光透镜，用于减弱该掩模透过的激光束图案；具有暴露于照射激光束图案的像素区和驱动区的基板；上面安装有基板的活动工作台；以及位置传感器，该位置传感器感测照射激光束图案的位置，并控制相邻照射激光束图案之间的重叠区的尺寸和排列。

主权项

1、一种连续横向固化装置，包括：一用于照射激光束的激光发生装置；一用于将所照射的激光束聚焦的聚焦透镜；一具有透明图案区域图案的掩模，照射的激光束通过透明区域图案成为激光束图案；一用于减弱激光束图案的减光透镜；一活动工作台；一安装在活动工作台上的基板，该基板上定义有像素区和驱动区，并且暴露于照射激光束图案下；以及一位置传感器组件，其用于确定照射在基板上的激光束图案的位置，并控制相邻照射激光束图案之间的重叠区域。