[发明专利]利用多面反射镜的激光加工设备有效
| 申请号： | 200410059046.7 | 申请日： | 2004-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN1676269A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 韩裕熙 | 申请（专利权）人： | EO技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/04 | 分类号： | B23K26/04;B23K26/06;B23K26/073;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 公开的内容针对采用多面反射镜的激光加工设备，能有效地加工物体。本设备包括：发射激光束的激光发生器；在轴上旋转并有多个反射平面的多面反射镜，它反射从激光发生器入射其上的激光束；和透镜，该透镜在把多面反射镜反射的激光束会聚之后，使该激光束照射到物体上，例如放置在台上的晶片。根据多面反射镜的旋转使激光束照射在晶片上的过程中，移动放置晶片的台，以增大激光束的相对扫描速度，这样能有效地切割晶片。因为它只用激光束切割晶片，所以不必改变任何附加的装置，这样可以改进加工速度和切割效率。此外，可以控制切割宽度，并防止切割加工时从晶片产生的蒸气淀积在晶片切口的再铸造效应，实现高纤细和精确尺寸的晶片切割加工。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 多面 反射 激光 加工 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用多面反射镜以激光束加工物体的激光加工设备，包括：发射激光束的激光发生器；由多个反射落在其上的激光束的反射平面构成的、同时在轴上旋转的多面反射镜，该激光束由激光发生器发射；和会聚透镜，用于使多面反射镜上反射的激光束会聚，并使激光束照射在物体上。
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