[发明专利]针尖扫描的光点跟踪装置

摘要

一种针尖扫描的光点跟踪装置，其特征是该装置由五个模块构成：第一模块包括y向扫描器及固定在其上的第一反射体，第二模块包括x向扫描器及固定在其上的第二反射体，第三模块即z向扫描器；第四模块包括聚焦透镜、微悬臂针尖和固定该微悬臂针尖的连接体，第五模块包括激光器、成像透镜和四象限光电探测器，该四象限光电接收器放在成像透镜焦平面，激光器和四象限光电探测器各有一个调节机构；本发明装置结构简单，各模块调整和更换方便，激光聚焦光点在扫描过程中能稳定地跟踪微悬臂针尖的运动，保证微悬臂针尖没有发生实际偏转的情况下，反射光也不会产生相对光电探测器移动。

主权项

1、一种针尖扫描的光点跟踪装置，其特征是该装置由五个模块构成：第一模块(1)包括y向扫描器(101)及固定在其上的第一反射体(102)，该y向扫描器(101)是一具有中央长方形孔(103)的长方块结构，第一反射体(102)固定在该y向扫描器(101)的上面，且第一反射体(102)的反射面与入射光线成45°；第二模块(2)包括x向扫描器(201)及固定在其上的第二反射体(202)，所述的x向扫描器(201)具有长方块的外观，整体地固定在所述的y向扫描器(101)中央的长方形孔(103)中，第二反射体(202)跟第一反射体(102)在同一水平面上，第二反射体(202)的反射面于入射光线成45°；第三模块(3)即z向扫描器(301)；第四模块(4)包括聚焦透镜(403)、微悬臂针尖(401)和固定该微悬臂针尖(401)的连接体(402)，该微悬臂针尖(401)固定在z向扫描器(301)的下面的一连接体(402)上，该微悬臂针尖(401)的尖端位于聚焦透镜(403)下方焦点；第五模块(5)包括激光器(501)、成像透镜(502)和四象限光电探测器(503)，该四象限光电接收器(503)放在成像透镜(502)焦平面，激光器(501)和四象限光电探测器(503)各有一个调节机构；第五模块(5)固定在所有模块的上方，且所述的激光器(501)、第一反射体(102)和第二反射体(202)在同一平面上；第二模块(2)嵌固在第一模块(1)的长方形孔(103)中，第三模块(3)和第二模块(2)是组合在一起的，第二模块(2)的x向扫描器(201)带动第三模块(3)、第四模块(4)和x向扫描器(201)上的第二反射体(202)在x方向上移动，第一模块(1)的y向扫描器(101)带动第二模块(2)、第三模块(3)、第四模块(4)和第一反射体(102)在y方向上移动。