[发明专利]氮化镓紫外色度探测器及其制作方法

摘要

本发明提出一种新型的氮化镓紫外色度探测器，该器件能够判别照射到器件上的紫外光的波长。由于探测器的光电流与入射光强有关，不同的入射光强，表现出不同的光电流，所以普通的氮化镓(GaN)紫外探测器只能知道入射光是否是紫外光，而不能判断出紫外光的波长。在本发明提出的氮化镓紫外色度探测器的器件结构中，包含了两个背靠背的PIN结构氮化镓紫外探测器，这两个单元器件的具体结构参数不同，导致了两个器件的响应光谱也不同，但是这两个器件的光电流谱的比值是固定的，与入射光的光强无关，只与入射光的波长有关。只要利用合适的读出电路，能够得到与这两个单元器件的光电流的比值相关的数值，就可以判断出入射紫外光的具体波长。

主权项

1、一种氮化镓紫外色度探测器，其特征在于，利用两个具有不同的光谱响应的紫外探测器的光电流的比值，把两个单元紫外探测器做成一个器件，形成新的氮化镓紫外色度探测器。