[发明专利]电容z轴加速度计

摘要

公开了一种电容z轴加速度计，包括固定电极、可移动电极和支撑梁。固定电极具有与绝缘板的顶面平行安置的矩形固定电极板。固定电极板经柱使一个位于另一个之上以及安置在绝缘板的电极固定部上。可移动电极具有与固定电极板交错的矩形可移动电极板。可移动电极板经位于贯穿固定电极板的导向孔内的接插件柱一个位于另一个之上。多个支撑梁将可移动电极与梁固定部连接以便弹性支撑可移动电极。电容z轴加速度计能与x和y轴加速度计一起集成为单个芯片，最大化电容的变化以便实现良好的加速度灵敏度，以及利用低成本的放大器和过滤器。

主权项

1.一种电容z轴加速度计，包括：固定电极，具有与绝缘板的顶面平行安置的至少两个矩形固定电极板，所述固定电极板经多个柱使一个位于另一个之上以及安置在所述绝缘板的电极固定部上；可移动电极，具有与所述固定电极板交错的至少两个矩形可移动电极板，所述可移动电极板经位于贯穿所述固定电极板的导向孔内的多个接插件柱一个位于另一个之上；以及多个支撑梁，用于将所述可移动电极与分别安置在邻近所述可移动电极的两端的梁固定部连接，以便弹性支撑所述可移动电极。