[发明专利]应用于反射式平面显示器的反射电极的制作方法及光罩

摘要

一种应用于反射式平面显示器的反射电极的制作方法及光罩。首先，涂布一可热流动有机层于基板的上表面，并透过一具半穿透区域的光罩部分曝光此有机层，在有机层中形成未曝光的第一区、低度曝光的第二区与高度曝光的第三区，而此第二区位于第一区与第三区间。随后，显影去除有机层中曝光的部分，以在有机层的上表面形成阶梯状凸起。然后，施以热流以使前述阶梯状凸起转变为曲面凸起。接下来，再制作一金属反射电极层于曲面凸起的上表面。本发明克服了现有技术的缺陷，可以简化反射电极的制作流程，并缩短制程所耗费的时间，还可免去更换光罩的过程所需耗费的时间成本。

主权项

1.一种应用于反射式平面显示器的反射电极的制作方法，包括：提供一基板；涂布一可热流动的有机层于该基板的上表面；透过一具半穿透区域的光罩部分曝光该有机层，以在该有机层中形成未曝光的第一区、低度曝光的第二区与高度曝光的第三区，并且，该第二区位于该第一区与该第三区之间；显影去除该有机层中曝光的部分，以在该有机层上表面形成阶梯状结构；对该有机层施以热流，使该阶梯状结构转变为曲面结构；以及制作一金属反射电极层于该曲面结构的上表面。