[发明专利]叠层型光电元件以及电流平衡调整方法

摘要

在包括在支撑体102上顺序叠层了金属层103，下部透明导电层104，由非单晶硅构成的第1n层105，由微晶硅构成的第1i层106，由非单晶硅构成的第1p层108，由非单晶硅构成的第2n层109，由微晶硅构成的第2i层110，由非单晶硅构成的第2p层112的构造的叠层型光电元件中，使得在第1i层106和第2i层110中含有磷(P)，当第1i层106中磷对硅的含量比为R1，第2i层110中磷对硅的含量比为R2时，调整为R2＜R1，由此能够以高成品率制造具有高变换效率的光电元件。

主权项

1.一种叠层型光电元件，包括在支撑体上顺序叠层了金属层、下部透明导电层、由非单晶硅构成的第1n层、由微晶硅构成的第1i层、由非单晶硅构成的第1p层、由非单晶硅构成的第2n层、由微晶硅构成的第2i层和由非单晶硅构成的第2p层的构造，其特征在于：第1i层和第2i层含有磷，当第1i层中磷对硅的含量比为R1，第2i层中磷对硅的含量比为R2时，满足R2＜R1。