[发明专利]制备低维氮化铝纳米材料的方法无效
| 申请号: | 200410020610.4 | 申请日: | 2004-05-26 |
| 公开(公告)号: | CN1704330A | 公开(公告)日: | 2005-12-07 |
| 发明(设计)人: | 贺连龙;李志杰;沈志奇;王福 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号: | C01B21/072 | 分类号: | C01B21/072 |
| 代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人: | 许宗富;周秀梅 |
| 地址: | 110016辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | 本发明涉及半导体纳米材料,具体地说是一种低维氮化铝纳米材料的制备方法。它以金属铝为原材料作为阳极,以金属钨作为阴极,在氢气和氮气的混合条件下,采用直流电弧等离子体技术进行,其工艺参数为:H2∶N2在体积值比为0.2~1.5条件下,控制总压力在6000~95000Pa范围内,电弧电流为150~300A,气体流量为5~15l/s,点弧时间为0.5小时~6小时。本发明具有纯度高、时间短、操作简单特点。 | ||
| 搜索关键词: | 制备 氮化 纳米 材料 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制备低维氮化铝纳米材料的方法,其特征是:以金属铝为原材料作为阳极,以金属钨作为阴极,在氢气和氮气的混合条件下,采用直流电弧等离子体技术进行,其工艺参数为:H2∶N2在体积比值为0.2~1.5条件下,控制总压力在6000~95000Pa范围内,电弧电流为150~300A,气体流量为5~15l/s,点弧时间为0.5小时~6小时。
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