[发明专利]一种具有高磁电阻效应的磁性隧道结及其制备方法

摘要

本发明提供了一种具有高磁电阻效应的磁性隧道结及其制备方法。磁性隧道结由底电极层、反铁磁层、钴铁合金、绝缘层、金属钌层、顶电极层组成。本发明采用二氧化硅基片，通过等离子体溅射或磁控溅射、分子束外延生长手段制备成磁性隧道结。本发明的优点在于：巧妙的利用金属钌层和绝缘层的组合，大幅度地提高隧道结在室温下的磁电阻效应。

主权项

1、一种具有高磁电阻效应的磁性隧道结，其特征在于：由底电极层、反铁磁层、钴铁合金、绝缘层、金属钌层、顶电极层7层金属膜组成；具体结构为：隧道结的最底层为1～20纳米厚的金属铜，称为底电极层；从底往上第二层为10～20纳米厚的反铁磁的铱锰合金层；从底往上第三层为铁磁性的钴铁合金，厚度为1～10纳米；从底往上第四层为绝缘层三氧化二铝，厚度为1～2纳米，为耦合层；从底往上第五层为铁磁性的钴铁合金，厚度为1～10纳米；从底往上第六层为一层金属钌层，厚度为0.4～1纳米；从底往上第七层为1～20纳米的金属铜，为顶电极层。