[发明专利]有抗反射涂层的衍射光学元件无效
| 申请号： | 200410001026.4 | 申请日： | 2004-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN1576891A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托弗·L·科尔曼 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B1/11 | 分类号： | G02B1/11;G02B5/18;G02B5/32;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京东方亿思专利代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开的一种衍射光学元件，所述衍射光学元件包括基体，所述基体具有在其第一侧上形成的表面浮雕图案。所述衍射光学元件包括形成在表面浮雕图案上的抗反射涂层，由此形成有涂层的表面浮雕图案，其具有与在基体上形成的表面浮雕图案基本相同的尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 涂层 衍射 光学 元件 | ||
【主权项】：
1.一种衍射光学元件，包括：基体，具有在其第一侧上形成的表面浮雕图案；抗反射涂层，形成在所述表面浮雕图案上，由此形成有涂层的表面浮雕图案，其具有与在所述基体上形成的所述表面浮雕图案基本相同的尺寸。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安捷伦科技有限公司，未经安捷伦科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410001026.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：液晶画面显示装置
- 下一篇：输送和处理衬底的对接型系统和方法
