[发明专利]电弧蒸发器无效
| 申请号： | 200380109150.6 | 申请日： | 2003-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1742356A | 公开（公告）日： | 2006-03-01 |
| 发明（设计）人： | H·柯廷斯 | 申请（专利权）人： | PVT等离子及真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟;赵辛 |
| 地址： | 德国本*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电弧蒸发器，其具有一个构成阴极的中间电极，其被一个形成阳极的壳体包围。为了均匀蒸发中间电极材料，从壳体引出多个通过一个第二导体(74)连接的导电的第二连接件(84，86)，所述第二导体夹紧一个包裹端，其几何形状对应于中间电极的包裹端或者连接中间电极的电连接件(76，78)的第一导体(72)的包裹端。第一以及第二导体(72，74)与一个电源(82)的两个极(80，88)连接。 | ||
| 搜索关键词： | 电弧 蒸发器 | ||
【主权项】：
1.一种电弧蒸发器，具有一个构成第一极如阴极的中间电极(16，49)，其设置在一个构成第二极如阳极的壳体(10)中，其中所述中间电极至少边缘导电地与一个支承装置(20)连接，并且优选从支承装置(20)和/或中间电极(16)引出多个在中间电极边缘区域延伸的导电的第一连接件(38，40，76，78)，所述第一连接件通过一个通向设置在壳体外部的电源(18，82)的导电的第一导体(42，72)连接，壳体通过至少一个导电的第二连接件(44，46，49，53，54，84，86)与电源连接，其特征在于，从壳体(10)引出多个导电的第二连接件(46，48，52，54，84，86)，它们通过一个导电的第二导体(44，70，74)相互连接并且至少夹紧一个包裹端或者至少部分包裹端，其在几何形状上对应于中间电极(16，49)的包裹端和/或由导电的第一连接件(38，40，76，78)构成的包裹端。
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