[发明专利]固体摄像元件的测试装置无效
| 申请号： | 200380105138.8 | 申请日： | 2003-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1720435A | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | 玉井进悟 | 申请（专利权）人： | 株式会社英特埃库迅 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;G01J1/00;G01R31/26;H01L27/14;H04N17/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供将把测试用光照射于固体摄像元件的光学系统对固体摄像元件定位容易，能够进行高效率的测试的测试装置。具备：使来自光源的光线通过针孔照射于固体摄像元件的受光面上的光学模块(35)、具有与固体摄像元件的垫片接触的触针的探针板(20)、通过触针(21)接触应该检测的固体摄像元件的垫片的状态下的探针板(20)具有的开口(20h)，对应该测试的固体摄像元件而使光学模块(35)移动到规定的位置的电动机(30)以及支持臂(31)。 | ||
| 搜索关键词： | 固体 摄像 元件 测试 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光学模块，是在测试固体摄像元件的光电变换特性时，与固体摄像元件的受光面相向配置，使用于对所述受光面照射测试用光的光学模块，其特征在于，具备光学透镜、调整通过所述光学透镜的光的强度分布的散射板、使来自所述散射板的光通过的针孔、以及防止光从外部射入从所述光学透镜到所述针孔的光路的遮光部。
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