[实用新型]洁净容器内固持组件无效

专利信息
申请号: 200320103889.3 申请日: 2003-11-11
公开(公告)号: CN2651937Y 公开(公告)日: 2004-10-27
发明(设计)人: 白维铭;陈达仁;李志中;吴宗明;林慧芝 申请(专利权)人: 财团法人工业技术研究院
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人: 经志强;潘培坤
地址: 台湾省*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型涉及一种洁净容器内固持组件,在洁净容器内组设有一连杆机构,当洁净容器的上罩盖罩合于底座时,连杆机构的垂直滑块底端可先顶住底座,并在一固定件的垂直滑槽内向上滑移,促使一连杆向上旋转并使一固持件的水平滑座沿垂直滑块的水平滑槽横向滑移,进而推动固持件也横向滑移并以其止推面对应顶住卡匣(cassette)内的数个工件,以使工件可通过固持件而定位于卡匣内。由于垂直滑块与底座之间并不会相对滑移,而是保持固定接触于一点,因此不会产生摩擦及微粒,可有效保护洁净容器内的工件不会受到污染。
搜索关键词: 洁净 容器 内固持 组件
【主权项】:
1.一种洁净容器内固持组件,组设于一洁净容器内,其特征是该洁净容器由一上罩盖盖设于一底座上所组成,该底座上方固设有一卡匣并横向插置有数个工件;其中,该洁净容器内固持组件包括:一固定件,固设于该上罩盖的内壁上,且该固定件包括有一垂直滑槽、及一第一水平枢孔;一垂直滑块,滑设于该垂直滑槽内并可顶住该底座,且该垂直滑块上横向延设有一水平滑槽;一固持件,设置于该固定件与该卡匣之间,该固持件的前表面形成有一止推面并对应于所述工件,该固持件还包括有一向后延伸的水平滑座并对应滑设于该水平滑槽、及一第二水平枢孔;以及一连杆,分别于其二端形成有一第一枢轴、及一第二枢轴,该第一枢轴为对应枢设于该第一水平枢孔,且该第二枢轴对应枢设于该第二水平枢孔,该连杆可以第一枢轴为转轴向上旋转。
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