[实用新型]洁净容器内固持组件无效
申请号: | 200320103889.3 | 申请日: | 2003-11-11 |
公开(公告)号: | CN2651937Y | 公开(公告)日: | 2004-10-27 |
发明(设计)人: | 白维铭;陈达仁;李志中;吴宗明;林慧芝 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 经志强;潘培坤 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种洁净容器内固持组件,在洁净容器内组设有一连杆机构,当洁净容器的上罩盖罩合于底座时,连杆机构的垂直滑块底端可先顶住底座,并在一固定件的垂直滑槽内向上滑移,促使一连杆向上旋转并使一固持件的水平滑座沿垂直滑块的水平滑槽横向滑移,进而推动固持件也横向滑移并以其止推面对应顶住卡匣(cassette)内的数个工件,以使工件可通过固持件而定位于卡匣内。由于垂直滑块与底座之间并不会相对滑移,而是保持固定接触于一点,因此不会产生摩擦及微粒,可有效保护洁净容器内的工件不会受到污染。 | ||
搜索关键词: | 洁净 容器 内固持 组件 | ||
【主权项】:
1.一种洁净容器内固持组件,组设于一洁净容器内,其特征是该洁净容器由一上罩盖盖设于一底座上所组成,该底座上方固设有一卡匣并横向插置有数个工件;其中,该洁净容器内固持组件包括:一固定件,固设于该上罩盖的内壁上,且该固定件包括有一垂直滑槽、及一第一水平枢孔;一垂直滑块,滑设于该垂直滑槽内并可顶住该底座,且该垂直滑块上横向延设有一水平滑槽;一固持件,设置于该固定件与该卡匣之间,该固持件的前表面形成有一止推面并对应于所述工件,该固持件还包括有一向后延伸的水平滑座并对应滑设于该水平滑槽、及一第二水平枢孔;以及一连杆,分别于其二端形成有一第一枢轴、及一第二枢轴,该第一枢轴为对应枢设于该第一水平枢孔,且该第二枢轴对应枢设于该第二水平枢孔,该连杆可以第一枢轴为转轴向上旋转。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于财团法人工业技术研究院,未经财团法人工业技术研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200320103889.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造