[发明专利]光电子元件与用于制造的方法有效

专利信息
申请号: 200310123949.2 申请日: 1998-10-22
公开(公告)号: CN1527371A 公开(公告)日: 2004-09-08
发明(设计)人: H·布伦纳;H·胡尔特 申请(专利权)人: 西门子公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;H01L31/18;H01L31/08;H01L33/00;H01L27/14;H01L27/15
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 王忠忠
地址: 联邦德*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种带有一个接收辐射或发射辐射的半导体芯片(1)的光电子元件,此半导体芯片是固定在一个管座件(4)旁或管座件(4)上的,并且与用于元件电气接点接通的,由一种导电接头材料制的至少两个电极接头(2,3)相连接的。这些电极接头(2,3)是通过一个析出在管座件(4)的这些外表面上的薄镀层构成的,通过电镀析出镀覆上此镀层,并且用激光蚀刻结构化此镀层。
搜索关键词: 光电子 元件 用于 制造 方法
【主权项】:
1.生产具有一个接收辐射或发射辐射的半导体芯片(1)的光电子元件的方法,此半导体芯片是固定在管座件(4)旁或管座件(4)上,并且与用于元件电气接点接通的,由一种导电接头材料制成的至少两个电极接头(2,3)相连接,其特征在于,-采用从一种液体中析出的导电接头材料制成的薄镀层(16,16a)涂敷所述管座件(4),-在管座件薄层上沉积掩膜层(21),-结构化掩膜层(21),由此显示出管座件镀层的掩膜材料覆盖的和未覆盖的区域,并且,-通过刻蚀选择性地除去未由掩膜层材料覆盖的区域。
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