[发明专利]一种硅基可变形反射镜及其制作方法

摘要

本发明公开了一种硅基可变形反射镜及其制作方法。该可变形反射镜包括硅片和玻璃片，硅片由键合区、硅膜及与硅膜下表面连为一体的至少一个硅台柱构成，硅膜的上表面为反射面，在玻璃片上具有引线、压焊点及与硅台柱相对应的驱动电极，玻璃片和硅片由键合区相固定，当给驱动电极施加电压时，产生的静电力驱动硅台柱向下运动，从而带动硅膜发生变形。本发明以微电机系统MEMS技术为基础，它借助半导体工业中一套成熟的加工工艺，如：材料淀积、光刻等进行反射镜的制造，不仅成品率较高，还可像集成电路一样，容易进行大批量生产，从而大大降低单个器件的成本。同时，加工出的可变形反射镜具有体积小、重量轻、高镜面质量和低能耗的性能。

主权项

1、一种硅基可变形反射镜，其特征在于：包括硅片(1)和玻璃片(2)，硅片(1)由键合区(7)、硅膜(3)及与硅膜(3)下表面连为一体的至少一个硅台柱(5)构成，硅膜(3)的上表面为反射面，在玻璃片(2)上具有引线(8)、压焊点(9)及与硅台柱(5)相对应的驱动电极(6)，玻璃片(2)和硅片(1)由键合区(7)相固定，当给驱动电极(6)施加电压时，产生的静电力驱动硅台柱(5)向下运动，从而带动硅膜(3)发生变形。