[发明专利]多层结构部件及其制造方法有效
| 申请号： | 200310100701.4 | 申请日： | 2003-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN1498059A | 公开（公告）日： | 2004-05-19 |
| 发明（设计）人： | 户波与之;杉山雄二;伊波通明 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H05K1/02 | 分类号： | H05K1/02;H05K1/03;H05K3/46;H01L23/15 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 罗亚川 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种多层结构部件及其制造方法，在绝缘体的基板(2)上交错层压形成导体图形(3)与绝缘层(4)，并按预定的时间、或在通过由绝缘体基板(2)、导体图形(3)及绝缘层(4)构成的层压体(5)的形成工序时的探测器而检测到层压体(5)成为预定的翘曲情形时，将绝缘层(4)的构成材料变更为能矫正层压体(5)的翘曲的其他的绝缘材料、形成绝缘层(4)。据此，能够高精度地矫正层压体(5)的翘曲。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 结构 部件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多层结构部件，为在绝缘体基板上依次通过绝缘层层压配置多个导体图形的层压体，其特征在于：这些多个绝缘层中的至少1层，设为由热伸缩率与其他的绝缘层不同的绝缘材料构成的矫正用的绝缘层，这些至少1层的矫正用的绝缘层，由含有石英玻璃与石英的混合材料构成，且该混合材料因能矫正基于其他的绝缘层、导体图形及绝缘体基板的相互的热伸缩率的差异产生的所述层压体的翘曲而选定的，该石英玻璃与石英的组成比设成用于矫正层压体的翘曲的比率。
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