[发明专利]用于竖流型转盘式反应器的烷基挤出流

摘要

在一个用于在基片(3)上生长外延层的转盘式反应器(1)中，在距离圆盘旋转轴不同径向距离的位置处流向基片的气体速度基本相同。流向远离轴的圆盘部分(10a)的气体中，反应气(4)的浓度高于流向靠近轴的圆盘部分(10d)，使得距离轴(14)不同距离的基片表面部分每单位面积所接收反应气(4)的量基本相同。在反应器内达到了所需的流动式样，同时能够在基片上均匀地沉积和生长外延膜。

主权项

1.一种用于处理基片的反应器，该反应器包括：反应室；可移动安装在该反应室内的基片支架，从而可以将至少一个基片安装在基片支架上；与所述反应室相连的多个气体进口；一个或多个与所述进口相连的反应气源和一个或多个与至少一个所述进口相连的载气源，对所述气源和进口进行构建和设置，使得各进口向所述室内的基片支架导出气流，在这些被所述进口定向的气流中，所述反应气的浓度和质量流量不同，但是该气流的速度基本相同。