[发明专利]废气流的利用无效
| 申请号： | 03819985.8 | 申请日： | 2003-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN1678517A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | A·J·西利;J·R·史密斯 | 申请（专利权）人： | 英国氧气集团有限公司 |
| 主分类号： | C01B3/04 | 分类号： | C01B3/04;B01D53/047;B01D53/22;B01D53/86;C01B3/50;C01B3/56 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 郭广迅;段晓玲 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 在利用来自半导体加工步骤中的含氨废气流的方法和装置中，废气流中所含氨例如在反应器(3)中分解成氢和氮，这样获得的气流通过氢分离器(5)以从中分离出氢气，分离的氢气在净化器(8)中净化，且净化氢气循环用于半导体加工。该方法和装置通过允许循环半导体加工废气的成分而能有效利用这种废气。 | ||
| 搜索关键词： | 气流 利用 | ||
【主权项】：
1.一种利用半导体加工步骤中的含氨废气流的方法，包括将废气流中所含氨分解成氢和氮，使这样获得的气流通过氢分离器，以便从中分离出氢气，在净化器中净化分离出的氢气，并将净化氢气用于半导体加工。
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