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[发明专利]燃烧器元件的制造-CN202080081856.X在审
发明人： A·J·西利;D·M·普赖斯 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：公开了一种制造用于减排设备的燃烧器元件的方法。该方法包括：将包括金属颗粒和流动化合物的装料注入模制到模具中以生产模制的燃烧器元件，该模具限定该燃烧器元件；并且烧结该模制的燃烧器元件。以这样的方式，注入模制用于生产燃烧器元件，这在燃烧器元件的设计和性能方面提供了大得多的灵活性，并且避免了在燃烧器元件中并入穿孔支撑物的必要性。这允许生产具有更复杂设计的燃烧器元件，以及比使用现有技术生产的燃烧器元件更薄的燃烧器元件，这增加了就任何外部燃烧器元件尺寸由该燃烧器元件限定的燃烧室的容积，这继而增加了就任何燃烧器尺寸可处理的排出气体量。
燃烧元件制造

[发明专利]气体吹扫阀-CN202080078988.7在审
发明人： A·J·西利 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2020-11-12 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： F16K5/02 文献下载
摘要：一种阀(100)，包括：壳体(102)，其具有至少一个入口(104a)和至少一个出口(104b)；阀构件(108)，其位于所述壳体(102)内并且能够在不同位置之间移动，以用于在使用中控制流体从所述阀(100)的入口(104a)到出口(104b)的流动；其中，所述阀(100)还包括：至少两个间隔开的阀座(110a、110b)，所述阀构件(108)位于所述阀座中，以便形成由所述阀座(110a、110b)、所述阀构件(108)的外表面和所述壳体(102)的内表面界定的腔(112)；第一导管(118)，其在所述壳体(102)的外部与所述腔(112)之间延伸；以及在所述腔(112)与所述阀构件(108)的孔(114)之间延伸的第二导管(125)，在使用中，吹扫气体能够通过所述导管(112、125)被引入到所述腔(112)和孔(114)中。优选地，吹扫气体被加压，并可选地使用筒式加热器(126)加热，以分别抑制工艺气体的逸出和冷凝。
气体吹扫阀

[发明专利]优化消减装置中的操作条件-CN202080067277.X在审
发明人： M·C·格雷厄姆;A·J·西利;D·M·普赖斯 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：公开了一种优化消减装置中操作条件的方法和消减装置，所述消减装置被构造成对来自处理工具的排出物流进行处理。优化消减装置中的操作条件的方法，所述消减装置被构造成对来自处理工具的含有PFC的排出物流进行处理，所述方法包括：改变控制所述消减装置的操作条件的操作参数；确定存在于所述消减装置的排出物流中的PFC浓度的变化；以及基于PFC浓度的变化来确定是否保留操作参数。这样，排出物中存在的PFC的浓度可用于确定消减装置是否在正确的操作条件下操作。
优化消减装置中的操作条件

[发明专利]用于消除设备的入口组件-CN202080042781.4在审
发明人： A·J·西利;I·D·斯通斯;D·M·普赖斯 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： F23D14/70 文献下载
摘要：公开了用于消除设备的入口组件以及方法。入口组件用于消除设备并且包括：入口喷嘴，其限定可联接于入口导管从而提供由消除设备处理的废气流的非圆形入口孔、至少一个出口孔和喷嘴孔口，所述喷嘴孔口沿着纵向轴线在所述非圆形入口孔和出口孔之间延伸以便将废气流从非圆形入口孔运送到出口孔从而输送到消除设备的处理腔室，喷嘴孔口限定从所述非圆形入口孔延伸的入口部分、被定位在入口部分下游并且被构造成将废气流分成至少一对废气流的流动分隔结构以及延伸到出口孔并且被构造成将所述一对废气流运送到消除设备的处理腔室的出口部分。以此方式，由入口组件生成或产生多股废气流，这有助于改善消除设备的性能，尤其在低流率下。
用于消除设备入口组件

[发明专利]全氟化合物的减排方法-CN201980076879.9在审
发明人： A·J·西利;F·格雷 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2019-11-21 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： F23D14/12 文献下载
摘要：公开了一种减排方法。该方法包括：与燃烧反应物和稀释剂一起向减排装置的燃烧室供应含全氟化合物的排出物流；通过使所述燃烧反应物反应而加热所述燃烧室的燃烧区以实施将所述全氟化合物减排成稳定的副产物，选择所述稀释剂以在所述减排的过程中保持惰性。由此，在燃烧室中在燃烧反应物的燃烧过程中减少全氟化合物或其它化合物，但没有形成不期望的化合物，例如NOx或其它化合物。
氟化方法

[发明专利]生产气体减少的装置和方法-CN201480033061.6有效
发明人： A·J·西利 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2014-05-29 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： F23G7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种生产气体减少装置和方法。该生产气体减少装置包括燃烧器，该燃烧器包括可操作用于可接收来自生产工艺工具的排出气体流的燃烧室，并在燃烧室内处于亚大气压的条件下对排出气体流进行处理，所述燃烧室进一步可操作用于接收燃料、氧化剂和稀释剂，所述燃料、氧化剂和稀释剂在所述燃烧室内可控燃烧来处理所述排出气体流以生成处理后的排出气流，所述稀释剂在所述处理后的排出气流中可压缩。通过以惰性可压缩气体的形式提供稀释剂，燃烧室内的体积增量减小，这减少了排出气流的体积并减少了二次泵的体积负载。所述体积增量的减少是由于在排出气流中的稀释剂变相导致的，这样可以从排出气流中有效地移除稀释剂组分。这导致了可观的能源节约，由于从燃烧室内产生的气体体积变得更小，而这些气体需要通过二次泵的方式被压缩到第二压力，例如大气压。
生产气体减少

[发明专利]用来处理气体的设备-CN200880016534.6有效
发明人： A·J·西利;A·J·沃克菲尔德 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2008-05-15 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： B01J8/00 文献下载
摘要：本发明提出一种用来处理气体的设备，它包括壳体(100)，该壳体包括气体洗涤器段(118)和设置在该洗涤器段上方的静电聚尘器段(120)。在壳体(100)中可设置隔件(136)，所述隔件将聚尘器段(120)与洗涤器段(118)分开。壳体具有用来将气体供给到洗涤器段的气体入口(102)，用来将气体由聚尘器段排出的气体出口(104)，用来将洗涤液供给到聚尘器段的洗涤液入口(106)，以及用来将洗涤液由聚尘器段排出的洗涤液出口(126)。其中，隔件包括一组孔(138)，洗涤液通过这些孔由聚尘器段排放到洗涤器段中，以及用来将气体由洗涤器段输送到聚尘器段的一组气体入口(140)。
用来处理气体设备

[发明专利]有害物质的燃烧式消除-CN200880011473.4有效
发明人： A·J·西利 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2008-03-18 - 公布日： 2010-02-17 - 主分类号： F23D14/16 文献下载
摘要：一种用于有害物质的燃烧式消除的装置，其包括被向内发火的有小孔的燃烧器(C32)的出射面所包围并包围着向外发火的有小孔的燃烧器(C42)的出射面的环形的燃烧区(C14)，用于将包含至少一种有害物质的气流喷射到燃烧区中的器件(C12)，以及用于将燃料气和氧化剂供应给有小孔的燃烧器以便在出射面处实现燃烧的器件。
有害物质燃烧消除

[发明专利]从气流中除氟用的方法和装置-CN200780022578.5无效
发明人： A·J·西利 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2007-05-23 - 公布日： 2009-07-01 - 主分类号： B01D53/68 文献下载
摘要：从气流(1)中除去氟化气体的方法包括下列步骤：将含有氟化气体的气流(1)输送到燃烧区(2)，在燃烧区(2)中分解氟化气体，使能与氟化气体分解产物反应的钙盐(4)夹带到气流中以与氟化气体分解产物反应形成氟化钙，然后从气流中除去(10)氟化钙盐。
气流方法装置

[发明专利]处理气流的方法-CN200780011123.3有效
发明人： A·J·西利;J·R·史密斯 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2007-01-12 - 公布日： 2009-04-15 - 主分类号： B01D53/68 文献下载
摘要：记述了控制用于处理气流的消减系统的效率的方法，其中一部分气流被转向远离用于从气流中除去全氟化物种的等离子体消减设备，并在所述消减设备上流作为真空泵的吹扫气体被返回所述气流。这既可以降低消减设备的能量需求又可以降低被添加到所述气流中弥补吹扫气体的惰性气体量。
处理气流方法

[发明专利]微波等离子体消除设备-CN200680043944.0无效
发明人： M·拉多尤;J·R·史密斯;A·J·西利 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2006-09-25 - 公布日： 2009-01-07 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：在操作微波等离子体消除设备的方法中，该设备包括微波发生器和用于接收来自微波发生器的微波能量并在其中利用微波能量产生等离子体的气体腔室，监控没有在气体腔室内吸收的微波能量的量，并根据监控的微波能量调节微波发生器产生的微波能量的功率。
微波等离子体消除设备

[发明专利]等离子体反应器-CN200680039949.6有效
发明人： A·J·西利;M·拉多伊乌 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2006-09-26 - 公布日： 2008-10-29 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种等离子体反应器(10)，其包括具有气体入口(18)和气体出口(20)的微波共振腔(12)，用于将微波辐射传送到共振腔的波导(14)，和用于将包含离子的等离子体物流注入到共振腔的等离子体炬(40)，所述离子用于与从气体入口(18)流到气体出口(20)的气体反应。
等离子体反应器

[发明专利]处理气流的方法-CN200680029637.7有效
发明人： J·R·史密斯;A·J·西利;D·M·巴克 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2006-07-27 - 公布日： 2008-08-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明描述了一种用于处理来自多晶硅蚀刻过程的废气的方法，该方法采用等离子消除装置用以处理气体。该装置包括具有用于接收气体的气体入口以及气体出口的不锈钢气室。由于气体可包含卤代化合物和水蒸气，故气室被加热至抑制在气室内的表面上吸收水的温度，由此抑制气室的腐蚀。然后气体被传向气室以便处理，而气室温度维持在处理气体时的所述温度以上。
处理气流方法

[发明专利]微波等离子反应器-CN200680029458.3有效
发明人： M·勒多伊乌;J·R·史密斯;A·J·西利 -专利权人：爱德华兹有限公司
申请日： 2006-07-27 - 公布日： 2008-08-13 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种微波等离子反应器(10)包括：反应器腔室；位于反应器腔室内的微波共振腔(14)；用于将微波辐射传导至共振腔的波导管(16)，波导管(16)具有会聚渐缩部；用于在共振腔内从微波辐射形成电磁驻波的装置，微波辐射用于启动等离子并将等离子维持于共振腔内，共振腔具有气体入口与气体出口；及从气体出口延伸的管路装置，用于容纳随着从气体入口向气体出口流动的气体而从共振腔传导的等离子。
微波等离子反应器

[发明专利]废气处理-CN200710126414.9无效
发明人： C·J·P·克莱门茨;D·M·巴克尔;A·J·西利 -专利权人：英国氧气集团有限公司
申请日： 2003-03-27 - 公布日： 2007-11-07 - 主分类号： B01D53/68 文献下载
摘要：一种洗涤含卤素气体的方法，包括将含卤素气体与至少30℃的水接触，气体随后可选择地经过进一步处理步骤，包括将其与低于30℃的水接触和/或气体稀释步骤。一种实施该方法的装置，包括一个热洗涤腔体(6)和可选的冷洗涤腔体(7)和/或气体稀释装置(13)。
废气处理

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