[发明专利]衬底输送装置无效
| 申请号： | 03808707.3 | 申请日： | 2003-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN1646400A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 安田守;藤崎畅夫 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;H01L21/68 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种衬底输送装置，其是从各衬底装载台(1、16)和浮起块(11)上形成的多个空气孔(4、18、12)上吹空气而使玻璃衬底(3)浮起，吸附保持该浮起的玻璃衬底(3)在输送方向C上的前端部两端而进行牵引，同时进行输送。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 输送 装置 | ||
【主权项】：
1、一种衬底输送装置，其特征在于，包括：衬底浮起机构，其是沿搬送路径设置的、用于使衬底在所述输送路径上浮起；输送机构，保持由所述衬底浮起机构浮起的所述衬底的两端部，并沿所述输送路径进行输送。
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