[发明专利]气体喷头、成膜装置及成膜方法

摘要

本发明的气体喷头，它与基板的表面相对地设置，同时，在与上述基板相对的表面上设置多个孔，从气体供给通路送出的多种成膜气体可通过这些孔同时供给上述基板，该气体喷头具有喷头本体和多个气体流路，该喷头本体有多个金属构件，通过在将该多个金属构件上下重合的状态下，在给定的温度条件下加热，各个金属构件的接触面彼此可以在局部金属扩散接合，该多个气体流路横切贯通上述喷头本体内的上述接触面，而且可使每种成膜气体均不混合地独立地形成，上述温度条件是通过之后的再加热，局部地金属扩散接合的部分可分离的温度条件。

主权项

1.一种气体喷头，它与基板的表面相对地设置，同时，在与所述基板相对的表面上设置多个孔，通过这些孔将从气体供给通路送出的多种成膜气体同时供给所述基板，其特征为，该气体喷头具有喷头本体和多个气体流路，该喷头本体有多个金属构件，通过在将该多个金属构件上下重合的状态下，在给定的温度条件下加热，各金属构件的接触面彼此局部地金属扩散接合，该多个气体流路横切贯通所述喷头本体内的所述接触面，而且按照每种成膜气体的种类均不混合的方式独立地形成，所述温度条件是通过之后的再加热，局部地金属扩散接合的部分可分离的温度条件。