[实用新型]用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置

摘要

本实用新型公开了一种用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置，旨在解决现有的蒸镀装置对有机小分子材料的利用率较低等问题，通过在现有的蒸镀装置中的蒸发器(3)上增设一个气源(7)，所述的气源(7)通过第一管道(8)与所述的蒸发器(3)的内腔(2)相通并可以通过第一管道(8)向蒸发器(3)内的有机小分子材料(5)的表面输送热气，使得有机小分子材料(5)蒸发时从表面自上而下依次蒸发，提高了有机小分子材料(5)的利用率；此外，本实用新型还可以将蒸镀室(9)设置在蒸发器(3)之外，蒸镀室(9)通过带有阀门的第二管道(6)与蒸发器(3)的内腔相通，这样，可以在添加有机小分子材料时不至于影响生产效率。

主权项

1.一种用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置，包括一可以被密封的蒸发器(3)，所述的蒸发器(3)的内腔(2)至少包括，一个可以置放有机小分子材料(5)的第一腔室(21)，以及一个供所述的有机小分子材料升华的第二腔室(22)，所述的第一腔室(21)与第二腔室(22)相互连通；还包括第一加热器(4)，所述的第一加热器(4)位于所述的蒸发器(3)围绕第一腔室(21)的壁体之中或壁体的外侧；还包括蒸镀室(9)，贴有掩模板(92)的待蒸镀的基片(91)置于所述的蒸镀室(9)内，所述的蒸镀室(9)与所述的第二腔室(22)相通，其特征在于：所述的蒸镀装置还包括一个气源(7)，所述的气源(7)通过第一管道(8)与所述的蒸发器(3)的内腔(2)相通并可以通过第一管道(8)向所述的有机小分子材料(5)的表面输送热气。