[发明专利]含有被埋入的液态微量成分的研磨垫及其制造方法有效
| 申请号： | 03158608.2 | 申请日： | 2003-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN1494987A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 许铉;李尚目;宋基千;金承根;孙镀权 | 申请（专利权）人： | 韩国珀利尔有限公司 |
| 主分类号： | B24D11/00 | 分类号： | B24D11/00;B24D3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种研磨垫，包含具备聚合物基质和埋入在上述聚合物基质内的液态微量成分的研磨层，且在上述研磨层的表面上分布有由上述液态微量成分确定、开孔的气孔。本发明的研磨垫可以通过表面开孔的均匀微细气孔，以高精度进行研磨工序，在研磨工序中取得一定的研磨性能，可稳定地使用，不会发生晶片的刮痕。另外，本发明还提供了适合制造本发明的研磨垫的制造方法。由于制造时所使用的成分均为液态，所以垫的制造工序容易。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 埋入 液态 微量 成分 研磨 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种研磨垫，用于在与被研磨对象的表面接触的状态下边移动边进行研磨工序的研磨垫，其特征在于，所述研磨垫具备具有聚合物基质和埋入在上述聚合物基质内的液态微量成分的研磨层，且在上述研磨层的表面上分布有由上述液态微量成分确定、开孔的气孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于韩国珀利尔有限公司，未经韩国珀利尔有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03158608.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一体型研磨垫及其制造方法
- 下一篇：气动套筒扳手
